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產(chǎn)品名稱: 顯微激光測振儀
發(fā)布日期: 2018-01-10
點擊數(shù): 1550
二維碼:
簡述: 顯微激光測振儀,是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器,也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。顯微激光測振儀它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌,激光光斑達微米量級,并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移)等信息。
顯微激光測振儀特點:
非接觸測量,無負(fù)載;
激光光斑極小,微米級;
優(yōu)越的帶寬和動態(tài)范圍;
高空間分辨率;
工作距離可選;
高靈活性、易安裝、易操作;
振動傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
配有同軸照明裝置和相機,可以方便迅速地確定測量位置。
顯微激光測振儀擴展功能:
利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測量物體面內(nèi)振動特性(可定制)
通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)
顯微激光測振儀應(yīng)用領(lǐng)域:
微機電系統(tǒng)(MEMS)動態(tài)測試
生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動物學(xué)研究,如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
計算機外設(shè)的動態(tài)測試:硬盤驅(qū)動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等;
超聲振動測量
壓電陶瓷振動測量
弦線/絲線振動特性測量
微型陀螺儀振動測量
顯微激光測振儀技術(shù)參數(shù) |
|
工作溫度 |
3℃ - 45℃ |
工作濕度 |
<90% |
電 源 |
220 - 240Vrms,50-60Hz |
激光波長 |
He-Ne Laser 632.8nm |
速度量程① (可選) |
50mm/s,100mm/s,500mm/s 1m/s,5m/s,10m/s |
輸出電壓 |
±10V |
頻率范圍 |
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz (根據(jù)解調(diào)卡而定) |
濾波設(shè)置 |
高通低通濾波設(shè)置 |
速度分辨率② |
1um/s |
位移分辨率 |
0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
大線性誤差 |
1.00% |
機 架 (標(biāo)準(zhǔn)配置) |
反射用機架,低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
光學(xué)參數(shù) |
檢測器尺寸:1/2 測量距離:9mm(使用10X物鏡時) |
觀測裝置 |
CMOS數(shù)碼相機: 320萬像素(USB2.0) |
注 ① 可以根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程
②采用高分辨率解調(diào)卡,速度分辨率可達0.02um/s
上一個:金剛砂磨頭(砂粒)檢測
下一個:工具測量顯微鏡
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